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稀土是什麼? 稀土用途? 半導體重要材料?

稀土是什麼?

圖片來源:Wikipedia


在台灣,稀土的產值很小,不可與半導體在產業規模上相提並論。但就重要性而言,稀土元素的微量添加確實讓它在不同產業應用起了點石成金的作用,從而有「工業維生素」、「工業味精」或「工業潤滑劑」等美譽。本文以下就稀土元素在半導體領域的應用專利為例,探究稀土元素在半導體產業是如何產生工業維他命的效果。



選自鈰以外之稀土類化合物的研磨劑組成物


研磨、拋光是半導體晶片加工過程中的重要工藝。化學機械研磨或稱化學機械拋光(CMP,Chemical Mechanical Polishing)是積體電路製造過程中實現晶圓表面平坦化的關鍵技術。它主要是應用化學研磨液混配磨料的方式對半導體表面進行精密加工,而研磨劑的組成對製造晶片過程中晶圓表面研磨的均勻性、粗糙度等品質至關重要。旭硝子股份有限公司(Asahi Glass Company)申請一種供製作半導體絕緣膜之研磨的研磨劑組成物專利[1],係使用具有C-Si鍵與Si-O鍵之有機矽材料。該研磨劑組成物係含有水與選自鈰以外之稀土氫氧化物、稀土氟化物、稀土氟氧化物、稀土氧化物之特定稀土化合物的粒子,其中上述特定稀土化合物之粒子為選自La2O3、La(OH)3、Nd2O3、Nd(OH)3、Pr6O11、Pr(OH)3及CeLa2O3F3之組合中其中一種稀土化合物。


稀土用途是什麼?


稀土雖然罕見,但他用途的廣泛你可不得不知。舉凡電動車、手機、永久磁鐵、風車、高鐵、醫學掃描機、雷射、光纖資料傳輸、螢幕磷光體、銀行紙鈔防護、催化劑等,都會用到大量的稀土元素,可以說支撐我們日常生活的一切。

更具體一點, 將 17 樣 稀土金屬各自的主要工業用途詳列,可以參見天下文化出版的《稀有金屬戰爭》一書。在這本書中,作者皮特龍指出,「戰略性的稀有金屬稱為『稀土金屬』,共有 17 種,非常難以替代」。他也補充到,大部分廠商都無法缺少這些稀土資源,稀土能源的主要工業用途有:





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